Sensitive High Resolution Ion MicroProbe
(高感度高分解能イオンマイクロプローブ)

質量分析法には一定のエネルギーを持つイオンビームを固体表面に入射し、スパッタリングによって固体試料表面から放出される二次イオンを質量分析する二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS)があり、その中でも、一次イオンを収束させて局所領域の分析に適応したものはイオンマイクロプローブ法と呼ばれる。この分析法を用いているのがSHRIMP(Sensitive High Resolution Ion MicroProbe)であり、数〜数十μm径の微小領域における同位体分析が可能である。図は装置の概略図である。

　　　　　
本体は大きく分けると
(1)一次イオンカラム(primary ion beam column)
(2)予備試料室(sample lock)
(3)試料チェンバー(sample chamber)
(4)静電場アナライザー部(ESA:Electron Static Analyser)
(5)マグネット部(magnet)
(6)検出部(collector)

の6つからなる。デュオプラズマトロンから引き出された一次イオンは調整され試料チェンバー内に45度の角度で照射される。試料面に対して90度で放出された二次イオンは四重極レンズ等による二次イオン調整カラムで調整された後、ソーススリットを通ってESAに導かれる。最終的に高分解能スペクトル得るために、エネルギー分布に広がりを持つ二次イオンはESAによってエネルギー収束される。その後マグネットを通って質量分離された二次イオンはコレクタで検出される。

＊通称えびちゃん(SHRIMPにちなんで)。 抜群のプロポーションと、割とわがままな性格に学生はもちろん、スタッフも手を焼く。しかし逆にそこがまたかわいいと評判・・・・・らしい。